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亚洲人成色777777在线观看 使用KOH各向异性蚀刻Si的光学器件的单掩模微制造(上)
发布日期:2022-05-14 07:08    点击次数:78

咱们报道了期骗KOH水溶液中硅的各向异性腐蚀,用单掩模工艺进行纠合非球面光学名义的微加工。使用这种工艺制造了具有几毫米量级的横向范例和几微米量级的详细深度的精准的苟且非球面。咱们究诘了决定成形零件精度和最终名义质料的成分。咱们演示了1毫米和5毫米的复制非球面相位板,再现散焦亚洲人成色777777在线观看,歪斜,散光和高阶像差。该时期具有纠合出产反射和折射苟且非球面微光学元件的后劲。

先容

非球面微光学元件用于光通讯以将光耦合到光纤,用于光存储拾取器[1],用于波前传感器,用于半导体激光器的光束变成光学器件和线路应用。

非球面的微加工是一项弥留的任务。由于元件尺寸小,传统格式如研磨和抛光不适用。

球形凹下的各向异性蚀刻

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图1。通过圆形掩模的硅片的各向异性蚀刻

图2讲明了这个经由。去除氧化物掩模,随后将样品浸入蚀刻剂溶液中,故意于蚀刻(411)平面,其蚀刻速度大于(111)平面。(411)侧壁最终达到一个深度,其中变成了另一个倒金字塔,其深度相干于Si顶面,决定了随后变成的圆形详细的矢状面。

其中θ是新棱锥的刻面和顶面之间的角度(平面(411)和(100)之间的θ = 19.47度),m是这两个平面之间的蚀刻比,即m = R/R,其中R(pqr)默示关于给定的KOH浓度,平面的蚀刻速度。

进一步的蚀刻在凹下的底部产生圆形名义,这可能是n11平面的更快蚀刻的遵循,n11平面纠合地互相荒谬。在此经由中,剩余的(411)晶面延续横向迁徙,直到它们最终解除,同期球形截面的直径加多。当顶部硅名义也曾被蚀刻到深度h时,球形凹下的直径D由训导公式(2)给出。

图二。用KOH无掩模蚀刻金字塔形凹坑产生圆形详细。

对蚀刻阵列中的不同微镜测量的rms名义精辟度在15和25 nm之间的范畴内。由折射率为n的复制光学部件中的这种精辟度引起的波前变形小1/(n-1)倍,在8和13 nm之间的范畴内(关于n = 1.5),这关于可见光是可经受的。

微结构的归一化焦距由下式给出:

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